Керамические клапаны
Игольчатые клапаны
Мембранные клапаны
Регулирующие клапаны
Сильфонные клапаны
Шаровые краны
Регуляторы расхода
Фитинги

UHP арматура для чистых газов

Описание (показать всю продукцию)

UHP (Ultra High Purity) – в переводе означает «Сверхвысокая Степень Чистоты».
UHP арматура – это арматура производимая в условиях высшей степени чистоты.

В производстве электроники, микроэлектроники, аналитики, космонавтики и многих других направлениях, для получения наиболее точных результатов, есть потребность в применении чистого оборудования, в частности и трубозапорной арматуры. Под смыслом «чистая», подразумевается оборудование (арматура) очищенное от масел, производственных останков и прочих примесей. В зависимости от потребности, есть различные уровни чистоты. (Экологическая, промышленная, в медицине и т.д.)

UHP – это один из наивысших уровней чистоты в мире. Для его достижения требуются следующие производственные условия:
- чистота условий производства, в частности для UHP, в производстве требуется применение специальных «чистых помещений» (подробно см. ниже),
- специальная конструкция самой арматуры (подробно см. ниже),
- специальная полировка всех внутренних поверхностей (подробно см. ниже).

 

Чистые помещения

Чистота подразумевает не только чистоту производимого оборудования, но и условия в которых производится оборудование. В частности, производство электронной промышленности. В данной промышленности производство оборудования производится в «чистых помещениях». Продукция Fujikin производится в чистых помещениях с наивысшим классом чистоты.

Существуют следующие классы:
(присутствие аэрозольных частиц размером менее 0.5мкм)
Класс 1 – менее 1 частицы на 1 куб. фут
Класс 10 – менее 10 частиц на 1 куб. фут
Класс 100 – менее 100 частиц на 1 куб. фут
и т.д.

Fujikin имеет площадки производства различных классов чистоты.

Площади можно посмотреть здесь.
 

 

Конструкция трубозапорной арматуры UHP

История трубозапорной арматуры насчитывает более 3000 тысяч лет. С течением истории, индустриализации и направления в применении на сегодняшний день существует много разновидностей трубозапорной арматуры. История чистой арматуры, для применения в микроэлектронике, содержит следующие этапы развития.


 
1. Применение арматуры с сальником. Во времена, когда нетребовалось особой чистоты, сальниковой конструкции было достаточно. Однако у сальниковой конструкции есть такие минусы как: быстрый износ, плохая герметичность утечки в атмосферу, плохая герметичность на вакуумирование, выброс аэрозольных частиц при трении штока и сальника. С развитием микроэлектроники данная конструкция стала не применимой.

 

2. Применение арматуры с сильфонным уплотнением. Подобная конструкция решила все проблемные места сальниковой арматуры, но размеры самого клапана и цены его производства очень высокие.

 


3. Применение клапана с металлической мембранной. Такая конструкция решает проблемы больших габаритов и высокой цены клапана.
 
4. Применение клапана с металлической мембранной, где мембрана работает в качестве затвора. Преимущества: компактность, дешевая цена, минимум мест застоя среды, герметичность, большой жизненный цикл.

 

 

Специальная полировка всех внутренних поверхностей

Кроме выше описанного, для чистоты требуется специальная полировка всех металлических деталей контактируемых со средой.

Почему нужна полировка? Полировка требуется для сведения к минимуму шершавость поверхности, т.к. в зазоринах шершавости могут оставаться аэрозольные частицы. Попадание таких частиц в газ, нарушает чистоту газа, что влияет на производительность в микроэлектронике. Технологии Fujikin позволяют сгладить шершавость до Ra=0.06 мкм в среднем значении и Rmax=0.062 мкм в максимальном значении.

Чистота – это гарантия показания точных значений при исследованиях и улучшает производительность на Вашем производстве!